Semiconductor Equipment Racks

半导体设备机架

原子层沉积 ALD 机架

原子层沉积(ALD)机架

半导体原子层沉积(ALD)设备机架、零部件制造

等离子增强ALD PEALD 机架

等离子增强ALD(PEALD)机架

半导体等离子增强原子层沉积设备机架及零部件制造

物理气相沉积 PVD 机架

物理气相沉积(PVD)机架

半导体PVD物理气相沉积设备机架、零部件制造

金属化学气相沉积 MCVD 机架

金属化学气相沉积(MCVD)机架

半导体金属化学气相沉积设备机架、零部件制造

MOCVD外延机架

外延沉积(MOCVD)机架

半导体MOCVD外延设备机架、零部件制造

扩散炉退火机架

扩散炉(退火)机架

半导体扩散炉设备机架、零部件制造

外延沉积机架

外延沉积(EPI)机架

半导体外延沉积设备机架、零部件制造

离子注入机架

离子注入机机架

半导体离子注入机机架、零部件制造

光刻机机架

光刻机设备机架

半导体光刻机设备机架、零部件制造

刻蚀机机架

刻蚀工艺设备机架

半导体刻蚀设备机架及关键零部件制造

沉积机架

沉积工艺设备机架

半导体沉积工艺设备机架及关键零部件制造

清洗工艺机架

清洗工艺设备机架

半导体清洗设备机架及关键零部件制造

量测设备

量测设备

半导体量测设备机架及关键零部件制造

工艺设备机架翻新

工艺设备机架翻新

半导体二手设备机架翻新加工服务

半导体机架设备柜壳

半导体机架 / 设备柜壳

半导体设备机架、柜壳定制,精密钣金加工,支持非标定制

Gas Cabinet & Gas Distribution

半导体气柜

VMB半导体气柜

VMB 半导体气柜

用于半导体工艺气体的安全输送与控制

特气柜GC

特气柜 GC

特种气体柜,用于有毒有害气体的安全存储和输送

双瓶气柜

双瓶气柜

双瓶组气柜,实现气体的自动切换供气

气瓶架

气瓶架

气瓶存储架,用于高压气瓶的安全存储

气路盘面

气路盘面

半导体气路盘面定制加工

Precision Sheet Metal

精密钣金加工

不锈钢钣金件

不锈钢

SUS304 / SUS316L / SUS316Ti,耐腐蚀、高强度

碳钢钣金件

碳钢

Q235B / SPCC / SGCC,设备底座、重载框架

钛合金钣金件

钛合金

TC4 / Gr2 / Gr5,轻量化、高强度、耐腐蚀

铝合金钣金件

铝合金

6061-T6 / 5052-H32 / 7075-T6,轻质散热

哈氏合金钣金件

哈氏合金

Haynes 276 / C-276 / C-22,极耐腐蚀

CNC Precision Machining

CNC加工

不锈钢CNC零件

不锈钢

SUS304 / SUS316L,耐腐蚀、高强度

高级工程塑料CNC零件

高级工程塑料

PEEK / PI聚酰亚胺 / PTFE,耐高温绝缘

铝合金CNC零件

铝合金

6061-T6 / 7075-T6,轻质易加工

钛合金CNC零件

钛合金

TC4 / Gr5,轻量化、高强度

碳钢CNC零件

铝合金

6061-T6 / 5052-H32,散热轻质

Surface Treatment

表面处理

静电粉末喷涂

静电粉末喷涂

静电吸附粉末,高温固化附着力强,环保耐用

油漆喷涂

油漆喷涂

高压喷涂,油漆均匀覆盖,颜色丰富可选

阳极氧化

阳极氧化

电解氧化处理,提升耐腐蚀性,可做彩色装饰

冲砂处理

冲砂

喷射磨料清理表面,去除氧化皮,增加涂层附着力

丝印加工

丝印

丝网印刷,标识铭牌制作,耐磨耐候

Material Selection

材料选型指南

材料 牌号 密度 抗拉强度 典型应用
不锈钢 SUS304 / SUS316L / SUS316Ti 7.9 g/cm³ ≥515 MPa 真空腔体盖板、湿法设备支架、EMI屏蔽外壳
铝合金 6061-T6 / 5052-H32 / 7075-T6 2.7 g/cm³ ≥275 MPa 机械臂运动部件、散热模组、非承重面板
钛合金 TC4 / Gr2 / Gr5 4.5 g/cm³ ≥900 MPa 设备框架、EUV光刻机框架、腐蚀性气体管路
碳素结构钢 Q235B / SPCC / SGCC 7.85 g/cm³ ≥375 MPa 设备底座、重载框架、面板、电柜壳体
无氧铜 C101 / C110 / TU1 8.9 g/cm³ ≥220 MPa 高频电气连接、均温板、散热部件、镀金基材
黄铜 H62 / H65 / HPb59-1 8.5 g/cm³ ≥400 MPa 小螺纹连接件、阀体、接头、装饰件
可伐合金 Kovar / 4J29 / 4J36 8.3 g/cm³ ≥450 MPa 真空密封封装、玻璃金属封接、TK组件
因瓦合金 Invar 36 / 4J36 8.1 g/cm³ ≥490 MPa 精密光机结构、测量基准件、热稳定部件
哈氏合金 Haynes 276 / C-276 / C-22 8.9 g/cm³ ≥690 MPa 腐蚀性气体环境、氯化物介质、高温耐蚀结构件
尼龙 PA66-GF30 / MC尼龙 1.35 g/cm³ ≥80 MPa 绝缘结构件、耐磨衬套、夹具、固定座
PTFE / PEEK PTFE / PEEK / PVDF 1.3~2.2 g/cm³ ≥40 MPa 密封圈、耐腐蚀内衬、高温绝缘、高纯气体管路
聚甲醛 POM-C / POM-H(杜邦) 1.41 g/cm³ ≥65 MPa 绝缘垫圈、导轨滑块、运动齿轮、非金属轴承